SD1024シリーズ
半導体製造装置用の光学式のエンドポイント(終点)検出システムです。
製品情報
概要
SD1024シリーズは、Verity Instruments, Inc.製分光装置です。エンドポイント(終点)検出システムに用いられ、プラズマエッチャー内のプロセスをリアルタイムにモニタリングすることができます。
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SD1024G/GH SD1024GL SD2048GH/GM/GL |
SD1024Gシリーズは装置制御用のPCが必要ですが、この制御用のPCを内蔵したSD1024Xシリーズもあります。SD1024Gシリーズと同様にXH/XM/XLがあります。
また、全モデル共通の制御アプリケーションであるSpectraView™はVerity社独自技術であるNeuralPCA™アルゴリズムを含む多様な終点検出アルゴリズム、フレキシブルなユーザー設定、さまざまなデータ分析ツールを含んでいます。
半導体製造装置とのインタフェースもイーサネット/RS232C/デジタルI/Oに対応する多様なインタフェースを提供しています。
動作環境
適用OS
Windows 2000 Professional
Windows XP Professional
Windows 7 Professional
※SpectraView™のバージョンにより対応するOSの種類は異なります。
システム概略
システムの接続概略図
SD1024Gシリーズのシステム接続形態
SD1024Gスペクトロメーターは、ツール・コントローラーによって制御されている終点コンピューター(EPD Computer)にサポートされています。
SD1024Xシリーズのシステム接続形態
SD1024Xを使った場合では、EPD computer は必要なくなります。SD1024Xは直接ツール・コンピューターと通信することになるため、専用の終点コンピューターの必要性がなくなります。
ラインアップ
SD1024Gシリーズには8種類のモデルが用意されています。それぞれ以下のような特徴があり、用途により適切な機種を選択できます。
SD2048GH™ (高性能・高分解能)
- 要求の厳しい高分解能用途
- 2048列のCCDとSD1024GHと同等の光学系
- 低システマティックノイズ
SD1024GH™ (超高性能)
- 最も要求の厳しい用途
- SD1024Gの機能に加えて
- 高処理能力の光学系
- 更に低いシステマティックノイズ
SD1024G™ (高性能)
- 要求の厳しい用途
- 単一または複数のファイバー入力
- 科学グレードのCCD
- 低システマティックノイズ
SD1024GM™ (高性能、廉価版)
- 高要求の用途、廉価版
- 単一または複数のファイバー入力
- 非電子冷却のCCD
SD2048GM™ (高性能・高分解能、廉価版)
- 高要求・高解像度の用途、廉価版
- 単一または複数のファイバー入力
- 非電子冷却のCCD
SD1024GL™ (一般用途)
- 前機種SD1024FLと同様の機能(新しいCCD)
SD2048GL™ (高分解能)
- 高分解能の用途
- 高輝度の発光体が必要
- SD1024GLと同様の機能
- SD2048DLとは異なるCCD
SE1024GL-CMOS™ (一般用途)
- CMOS素子を使用した低価格製品。外形も異なります。