SD1024シリーズ

概要

SD1024シリーズは、Verity Instruments, Inc.製分光装置です。エンドポイント（終点）検出システムに用いられ、プラズマエッチャー内のプロセスをリアルタイムにモニタリングすることができます。

SD1024G/GH CCDエリアセンサを搭載し、200-800nmの波長領域をサポート、UV領域の感度が高く、検出困難だった微細な変化でも捉えることができます。 SD1024GL CCDラインセンサを搭載し、低コスト化を実現しています。SD1024シリーズ エントリーモデルとなります。 SD2048GH/GM/GL CCD受光素子が2048列あり、200-900nmの波長領域をサポートする高分解能仕様となります。

SD1024Gシリーズは装置制御用のPCが必要ですが、この制御用のPCを内蔵したSD1024Xシリーズもあります。SD1024Gシリーズと同様にXH/XM/XLがあります。

また、全モデル共通の制御アプリケーションであるSpectraView™はVerity社独自技術であるNeuralPCA™アルゴリズムを含む多様な終点検出アルゴリズム、フレキシブルなユーザー設定、さまざまなデータ分析ツールを含んでいます。

半導体製造装置とのインタフェースもイーサネット/RS232C/デジタルI/Oに対応する多様なインタフェースを提供しています。

カタログ（製品概要）
ダウンロード

動作環境

適用OS

Windows 2000 Professional
Windows XP Professional
Windows 7 Professional

※SpectraView™のバージョンにより対応するOSの種類は異なります。

システム概略

システムの接続概略図

SD1024Gシリーズのシステム接続形態

SD1024Gスペクトロメーターは、ツール・コントローラーによって制御されている終点コンピューター（EPD Computer）にサポートされています。

SD1024Xシリーズのシステム接続形態

SD1024Xを使った場合では、EPD computer は必要なくなります。SD1024Xは直接ツール・コンピューターと通信することになるため、専用の終点コンピューターの必要性がなくなります。

ラインアップ

SD1024Gシリーズには8種類のモデルが用意されています。それぞれ以下のような特徴があり、用途により適切な機種を選択できます。

SD2048GH™ (高性能・高分解能）

• 要求の厳しい高分解能用途
• 2048列のCCDとSD1024GHと同等の光学系
• 低システマティックノイズ

SD1024GH™ （超高性能）

• 最も要求の厳しい用途
• SD1024Gの機能に加えて
• 高処理能力の光学系
• 更に低いシステマティックノイズ

SD1024G™ (高性能）

• 要求の厳しい用途
• 単一または複数のファイバー入力
• 科学グレードのCCD
• 低システマティックノイズ

SD1024GM™ （高性能、廉価版）

• 高要求の用途、廉価版
• 単一または複数のファイバー入力
• 非電子冷却のCCD

SD2048GM™ （高性能・高分解能、廉価版）

• 高要求・高解像度の用途、廉価版
• 単一または複数のファイバー入力
• 非電子冷却のCCD

SD1024GL™ （一般用途）

• 前機種SD1024FLと同様の機能（新しいCCD）

SD2048GL™ （高分解能）

• 高分解能の用途
• 高輝度の発光体が必要
• SD1024GLと同様の機能
• SD2048DLとは異なるCCD

SE1024GL-CMOS™ （一般用途）

• CMOS素子を使用した低価格製品。外形も異なります。

関連リンク