半導体製造装置用の光学式のエンドポイント（終点）検出システムです。
SD1024シリーズは、Verity Instruments, Inc.製の分光装置です。エンドポイント（終点）検出システムに用いられ、プラズマエッチャー内のプロセスをリアルタイムにモニタリングすることができます。
CCDエリアセンサを搭載し、200-800nmの波長領域をサポート、UV領域の感度が高く、検出困難だった微細な変化でも捉えることができます。
CCDラインセンサを搭載し、低コスト化を実現しています。SD1024シリーズ エントリーモデルとなります。
CCD受光素子が2048列あり、200-900nmの波長領域をサポートする高分解能仕様となります。
SD1024Gシリーズは装置制御用のPCが必要ですが、この制御用のPCを内蔵したSD1024Xシリーズもあります。SD1024Gシリーズと同様にXH/XM/XLがあります。
また、全モデル共通の制御アプリケーションであるSpectraView™はVerity社独自技術であるNeuralPCA™アルゴリズムを含む多様な終点検出アルゴリズム、フレキシブルなユーザー設定、さまざまなデータ分析ツールを含んでいます。
半導体製造装置とのインタフェースもイーサネット/RS232C/デジタルI/Oに対応する多様なインタフェースを提供しています。
Windows 2000 Professional
Windows XP Professional
Windows 7 Professional
SD1024Gスペクトロメータは、ツール・コントローラによって制御されている終点コンピュータ（EPD Computer）にサポートされています。
SD1024Xを使った場合では、EPD computer は必要なくなります。SD1024Xは直接ツール・コンピュータと通信することになるため、専用の終点コンピュータの必要性がなくなります。
SD1024Gシリーズには8種類のモデルが用意されています。それぞれ以下のような特長があり、用途により適切な機種を選択できます。
