SP2100™

SP2100™は、Verity Instruments, Inc.製の膜厚計測装置です。in-situもしくはin-lineでの膜厚計測を実現するために開発され、エッチャー、CMP、CVDのアプリケーションに使用されています。

キセノンランプによるパルス光源を使用した干渉法によりウエハー上の膜厚をリアルタイムに測定します。
また、SP2100™用制御アプリケーションであるSpectraView™はロバストな終点検出アルゴリズム、Verity社独自技術による膜厚測定アルゴリズム、ユーザによる柔軟な設定環境、さまざまなデータ分析ツールを含んでいます。

半導体製造装置とのインタフェースもイーサネット/RS232C/デジタルI/Oに対応する多様なインタフェースを提供しています。